▮ BPS系列真空阀规格
Roughing 阀门
▮ ROUGHING 阀门 (BPS-CA) ▮
| 描述 | 规格 | 评论 | |
|---|---|---|---|
| 压力范围 | < 5×10-9 Torr~ ATM | ||
| 泄漏率 | < 8 x 10-9 Torr.l/s | ||
| 空气（N2）压力 | 70 ~ 100 psi (5-7 kg/cm2) | ||
| 材料 | Body | Al 6061 (Hard Anodized) | |
| Actuator | Al 6061 (Soft Anodized) | ||
| O-ring Seal 材料 | Viton | 选项 : Kalrez, Uper FKM & FFKM | |
| 温度 | 120°C | 温度精度: <+3°C reading (121°C ≤ Set ≤ 150°C) |
|
| 加热温度控制 | 20~120°C | 温度精度: Heating 类型 | |
| 执行器类型 | Single Acting 或 Double Acting | ||
| 位置指示 | LED Display by Magnetic Sensor | Open/Close Sensing | |
| N2 purge | N2 flow | 选项 | |
| 可靠性 (BTBF) | 200,000 循环 | ||
| 尺寸 | NW25/40/50/63/80/100/125/160 | Option : 2-stage Valve(soft pumping) | |
Gate 阀门
▮ gate 阀门 (bps-gv) ▮
| 描述 | 规格 | 评论 | |
|---|---|---|---|
| 压力范围 | < 5×10-9 Torr~ ATM | ||
| 泄漏率 | < 8 x 10-9 Torr.l/s | ||
| 空气（N2）压力 | 65-100 psi (4.5-7 Bar) | ||
| 材料 | Body | Al 6061 (Soft Anodized) | |
| Actuator | Al 6061 (Hard Anodized) | ||
| O-ring Seal 材料 | Viton | 选项: Kalrez, Uper FKM & FFKM | |
| 温度 | 温度 ≤ 120°C | 机身和执行器温度精度: ≤ ± 3°C reading (121°C ≤ Set ≤ 180°C) |
|
| 加热温度控制 | 20~120°C | 选项: Heating 类型 | |
| Soft Pumping | ∮1/2″mm | ||
| 位置指示 | 阀门位置: open/close | Magnet DC24V | |
| N2 purge | N2 flow | 选项 | |
| 可靠性 (BTBF) | 30,000 循环 | ||
| 尺寸 | ISO-F 50/63/80/100/125/160 | 选项: Flange connection 类型 | |
▮ 方面 ▮
| 尺寸（毫米） | A | B | C | D | E | F |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 50 | 309 | 436 | 111 | 55.5 | 44 | 71 |
| 80 | 367 | 534 | 138 | 69 | 44 | 71 |
| 100 | 396 | 595 | 160 | 80 | 44 | 71 |
| 125 | 490 | 726 | 185 | 92.5 | 44 | 71 |
| 160 | 545 | 830 | 220 | 110 | 44 | 71 |
▮ 通道尺寸 ▮
| 渠道 | W | D | H |
|---|---|---|---|
| #1 | 137 | 200 | 132 |
| #4 | 228 | 250 | 182 |
#1 通道温度控制器图
#4 通道温度控制器图
AGV Protection Gate 阀门
▮ AGV Protection Gate 阀门 (BPS-CG) ▮
| 描述 | 规格 | 评论 | |
|---|---|---|---|
| 压力范围 | < 5×10-9 Torr~ ATM | ||
| 泄漏率 | < 8 x 10-9 Torr.l/s | ||
| 空气（N2）压力 | 65-100 psi (4.5-7 Bar) | ||
| Material | Body | Al 6061 (Soft Anodized) | |
| Actuator | Al 6061 (Hard Anodized) | ||
| O-ring Seal 材料 | Viton | Option: Kalrez, Uper FKM & FFKM | |
| 温度 | 温度≤ 120°C | 机身和执行器温度精度: ≤ ± 3°C reading (121°C ≤ Special: ≤ 180°C) |
|
| 加热温度控制 | 20~120°C | 选项: Heating 类型 | |
| 接近响应时间 | ≤ 0.096 Sec | ||
| 位置指示 | 阀门位置: open/close | Magnet DC24V | |
| N2 purge | N2 flow | 选项 | |
| 可靠性 (BTBF) | 30,000 循环 | ||
| 尺寸 | ISO-F 50/63/80/100/125/160 | 选项: Flange connection 类型 | |
▮ 特征 ▮
| 尺寸（毫米） | A | B | C | D | E | F |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 50 | 309 | 436 | 111 | 55.5 | 44 | 71 |
| 80 | 367 | 534 | 138 | 69 | 44 | 71 |
| 100 | 396 | 595 | 160 | 80 | 44 | 71 |
| 125 | 490 | 726 | 185 | 92.5 | 44 | 71 |
| 160 | 545 | 830 | 220 | 110 | 44 | 71 |
▮ 阀门控制器 ▮
| 渠道 | W | D | H |
|---|---|---|---|
| #1~#4 | 345 | 250 | 152 |
▮ operation pendant ▮
| 渠道 | W | D | H |
|---|---|---|---|
| #1~#4 | 103 | 25 | 179 |
RPS Rotation Angle 阀门
▮ RPS rotation angle 阀门 (bps-ra-r) ▮
| 描述 | 远程等离子阀 | 规格 | 评论 | |||
|---|---|---|---|---|---|---|
| BPS-RA-R | BPS-RS | BPS-RA-P | ||||
| 压力范围 | 🗹 | 🗹 | 🗹 | < 5×10-9 Torr~ ATM | ||
| 泄漏率 | 🗹 | 🗹 | 🗹 | < 8 x 10-9 Torr.l/s | ||
| 驱动压力 | 🗹 | 🗹 | 🗹 | 65-100 psi (4.5-7 Bar) | CD 或 N2 | |
| 材料 | Body | 🗹 | 🗹 | 🗹 | Al 6061 (Soft Anodized) | ±20um |
| Actuator | 🗹 | 🗹 | 🗹 | Al 6061 (Hard Anodized) | ||
| O-ring Seal 材料 | 🗹 | 🗹 | 🗹 | Viton | 选项: Chemraz, Kalrez, Sillcon | |
| PCW 冷却 | 🗹 | 🗹 | 🗹 | PCW: 2~3Kg/cm2 | 1/4″ Lock(male_type) | |
| Actuator 类型 | 🗹 | 🗹 | 🗹 | Double Acting | ||
| 位置指示 | 🗹 | 🗹 | 🗹 | LED Display by Magnetic Sensor | Open/Close Sensing | |
| 吹扫气体 | 选项 | 选项 | 🗹 | Ar, N2 | 1/4″ VCRk(male_type) | |
| 可靠性(BTBF) | 30,000 | 30,000 | 30,000 | 循环 | ||
| 尺寸 | NW25/40 | NW40/50 | NW25/40 | NW25/40/50/63/80 | 选项: 可进行特定定制 | |
▮ 方面 ▮
| 尺寸（毫米） | A | B | C | D |
|---|---|---|---|---|
| 25 | 50 | 60 | 80 | 182 |
| 40 | 65 | 78.6 | 100.6 | 216 |
端口尺寸可根据客户需求进行调整。
RPS Gas Purge Angle 阀门
▮ RPS gas purge angle 阀门 (bps-ra-p) ▮
| 描述 | 远程等离子阀 | 规格 | 评论 | |||
|---|---|---|---|---|---|---|
| BPS-RA-R | BPS-RS | BPS-RA-P | ||||
| 压力范围 | 🗹 | 🗹 | 🗹 | < 5×10-9 Torr~ ATM | ||
| 泄漏率 | 🗹 | 🗹 | 🗹 | < 8 x 10-9 Torr.l/s | ||
| 驱动压力 | 🗹 | 🗹 | 🗹 | 65-100 psi (4.5-7 Bar) | CD or N2 | |
| 材料 | Body | 🗹 | 🗹 | 🗹 | Al 6061 (Soft Anodized) | ±20um |
| Actuator | 🗹 | 🗹 | 🗹 | Al 6061 (Hard Anodized) | ||
| O-ring Seal 材料 | 🗹 | 🗹 | 🗹 | Viton | 选项: Chemraz, Kalrez, Sillcon | |
| PCW 冷却 | 🗹 | 🗹 | 🗹 | PCW: 2~3Kg/cm2 | 1/4″ Lock(male_type) | |
| Actuator 类型 | 🗹 | 🗹 | 🗹 | Double Acting | ||
| 位置指示 | 🗹 | 🗹 | 🗹 | LED Display by Magnetic Sensor | Open/Close Sensing | |
| 吹扫气体 | 选修的 | 选修的 | 🗹 | Ar, N2 | 1/4″ VCRk(male_type) | |
| 可靠性(BTBF) | 30,000 | 30,000 | 30,000 | 循环 | ||
| 尺寸 | NW25/40 | NW40/50 | NW25/40 | NW25/40/50/63/80 | 选项: 可进行特定定制 | |
▮ 方面 ▮
| 尺寸（毫米） | A | B | C | D |
|---|---|---|---|---|
| 40 | 65 | 79 | 118 | 218.7 |
端口尺寸可根据客户需求进行调整。
RPS Gate 阀门
▮ RPS gate 阀门 (bps-rg) ▮
| 描述 | 远程等离子阀 | 规格 | 评论 | |||
|---|---|---|---|---|---|---|
| BPS-RA-R | BPS-RS | BPS-RA-P | ||||
| 压力范围 | 🗹 | 🗹 | 🗹 | < 5×10-9 Torr~ ATM | ||
| 泄漏率 | 🗹 | 🗹 | 🗹 | < 8 x 10-9 Torr.l/s | ||
| 驱动压力 | 🗹 | 🗹 | 🗹 | 65-100 psi (4.5-7 Bar) | CD 或 N2 | |
| 材料 | Body | 🗹 | 🗹 | 🗹 | Al 6061 (Soft Anodized) | ±20um |
| Actuator | 🗹 | 🗹 | 🗹 | Al 6061 (Hard Anodized) | ||
| O-ring Seal 材料 | 🗹 | 🗹 | 🗹 | Viton | 选项: Chemraz, Kalrez, Sillcon | |
| PCW 冷却 | 🗹 | 🗹 | 🗹 | PCW: 2~3Kg/cm2 | 1/4″ Lock(male_type) | |
| Actuator 类型 | 🗹 | 🗹 | 🗹 | Double Acting | ||
| 位置指示 | 🗹 | 🗹 | 🗹 | LED Display by Magnetic Sensor | Open/Close Sensing | |
| 吹扫气体 | 选项 | 选项 | 🗹 | Ar, N2 | 1/4″ VCRk(male_type) | |
| 可靠性(BTBF) | 30,000 | 30,000 | 30,000 | 循环 | ||
| 尺寸 | NW25/40 | NW40/50 | NW25/40 | NW25/40/50/63/80 | 选项: 可进行特定定制 | |
▮ 方面 ▮
| 尺寸（毫米） | A | B | C | D | E | F |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 50 | 309 | 436 | 111 | 55.5 | 44 | 71 |
| 80 | 367 | 534 | 138 | 69 | 44 | 71 |
端口尺寸可根据客户需求进行调整。
三通阀
▮ 三通阀 ▮
| 描述 | 规格 | 评论 |
|---|---|---|
| 温度范围 | < 200℃ | 硬件互锁: Bimetal |
| 温度传感器 | K-Type | |
| 加热器电源 | AC220V, 50/60Hz | 根据客户要求: AC110V, 50/60Hz 可用的 |
| 驱动单元压力 | 70 ~ 100 psi (5~7 kg/cm2) | CDA 或 N2 |
| 材料 | Al (Hard Anodized) | 50㎛ ± 10% |
| O-ring Seal 材料 | Teflon | |
| Actuator 类型 | Single 或 Double Acting | |
| 位置指示 | Magnetic Sensor | T/L 类型 |
| 尺寸 | NW40/50 | 选项: 客户特殊尺寸可定制 |
▮ 方面 ▮
| 尺寸（毫米） | A | B | C | D |
|---|---|---|---|---|
| 40 | 160 | 157 | 125 | 193 |
端口尺寸可根据客户需求进行调整。
控制器最多可支持 4 个通道。
