LAON TMD Co., Ltd.

特殊阀门（BPS系列）

真空阀专利技术 | 客户演示评估 | 规格

我们的阀门
有何特别之处？

BPS & 益处

波纹管和O形圈密封加热设计 > 最小化聚合物沉积
阀门在线泄漏最小化
减少渠道停机时间（MTBF↑）
增加阀门清洗周期

易于维护

可100%替换现有ISO阀门
温度加热模块采用易于维护的设计
无需对真空管路进行改造

流程与应用

刻蚀、PECVD、扩散、ALD等
有毒洗涤器内阀、有毒排放管路阀及其他
高分子堆积工艺
经常维修或更换的ISO阀

▮ Semiconductor fab layout & bps series application fields

▮ 专利技术

ITEM	Roughing Valve	Gate Valve	AGV Protection Gate Valve	RPS Angle/Gate Valve
BPS Type	BPS-CA	BPS-CG	BPS-PG	BPS-RG	BPS-RA-R	BPS-RA-P	BPS-RG
产品
特色和优势	• 内加热型 • 最大限度减少聚合物沉积 • 安装简便	• 完美阻断聚合物沉积 • 防止聚合物渗入驱动部件 • O型圈密封始终保持A级品质 • 额外的软泵功能	• 全球最快的关闭速度 (速度: < 0.1sec) • 防止聚合物渗入驱动部件 • O型圈密封始终保持A级品质	• 世界首款非外露式O型圈阀门 • 完美阻挡 F* 自由基 • 防止O型圈腐蚀 • 应用冷却		• 吹扫气体流量 • 防止O型圈腐蚀 • 应用冷却	• 球内加热型 • 最大限度提高内部热效率
预期结果	• 预防性维护（PM）周期延长了3倍以上 • 提高泵送传导率 • 最大限度减少颗粒形成 • 缩短设备停机时间 • 降低维护成本	• 预防性维护（PM）周期延长了3倍以上 • 阀门驱动单元稳定 • 降低维护成本	• 通过限制回流来防止晶圆缺陷 • 提高生产良率 • 阀门运动稳定	• 最大限度减少O型圈腐蚀产生的颗粒物 • 延长维护期			• 最大限度减少聚合物在内部的沉积 • 稳定阀门运行并防止内部泄漏 • 延长预防性维护期
应用领域	ETCH, Thin Film, ETCH, Diffusion	ETCH, Thin Film, ETCH, Diffusion	ETCH, Thin Film, ETCH, Diffusion	Thin Film, ETCH			Thin Film, ETCH, Diffusion
安装位置	Chamber	Chamber,Trap	Dry Pump	Remote Plasma Chamber			Scrubber

▮ 主要产品 (BPS-G) 高速防回流真空阀 ▮

研制出世界上第一个可移动真空管路阀。

完全防止干式抽气引起的回流，提高半导体器件生产良率

显著提升清洁周期（保证比其他公司的产品长3倍）

完美阻止了回流
（关闭时间<95毫秒）
专为室内供暖而设计
（本体/密封板）
双重密封结构
（真空密封性能优异）
高平均故障间隔时间（比传统型高 3~4 倍）
（无聚合物沉积，O型圈磨损极小）
低拥有成本

BPS-PG (Auto Gate 阀门 + Protection 阀门 )
双密封结构（相当于两套普通阀门）

维护周期延长了3倍

▮ 主要产品 (BPS-A) 加热真空阀 ▮

最大限度提高内部加热效率。适用于半导体、LED 和 LCD 设备制造商使用的设备。可在产生大量聚合物的设备中长期使用。

解决工艺腔室中严重聚合物污染导
致角阀损坏的问题后，PM周期延长了3倍以上。

波纹管轴直接温度控制 (20⁰C ~120⁰C)
尽量减少轴和密封件处的聚合物堆积
最大限度提高平均故障间隔时间（比传统类型高 4 倍以上）
经过超过 20 万次开/关循环测试，未发现任何硬件问题
稳定泵送传导压力
可轻松更换为传统阀门
加热模块易于维护
合适的蚀刻/PECVD/扩散/ALD工艺设备
适用于 NW24/40/50/80/160
单级或双级阀
波纹管材料 (SS, AM350, Hastelloy)

维护周期延长了4倍

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