▮ BPS-CG/RG 客户评价 ▮
Dry Pump AGV Protection Gate Valve
| 过程 |
M/C | M/N | 模块 | V/V 尺寸 | V/V 位置 | 评估结果 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Diffusion |
MTO | TEL | INDYPLUS | PM | Φ160mm | Pump Inlet | 优秀 (SAMSUNG, SK Hynix) |
| Diffusion |
ALD | TEL | INDYPLUS | PM | Φ160mm | Pump Inlet | |
| ETCH | METAL | AMAT | CENTURA | L/L | Φ80mm | Pump Inlet | |
| ETCH | METAL | LAM | KIYO | PM | Φ125mm | Pump Inlet | |
| ETCH | ASHING | PSK | SURPA5M | PM | Φ160mm | Pump Inlet | |
| Diffusion | ALD | TEL | – | PM | Φ160mm | Pump Inlet | |
| ETCH | Poly | LAM | KIYO | PM | Φ125mm | Pump Inlet | |
| PVD | W | AMAT | ILTIMA | PM | Φ100mm | Pump Inlet | |
| PVD | STI | AMAT | ULTIMA | PM | Φ100mm | Pump Inlet | |
| ETCH | Oxide | TEL | DRM | TM | Φ100mm | Pump Inlet | |
| ETCH | ASHING | RAMCO | RAM-8500 | PM | Φ50mm | Pump Inlet | |
| Diffusion | – | FAB | – | PM | Φ160mm | Pump Inlet | |
| PVD | – | FAB | – | PM | Φ160mm | Pump Inlet | |
| PVD | – | FAB | – | PM | Φ100mm | Pump Inlet | |
| PVD | – | FAB | – | PM | Φ80mm | Pump Inlet | |
| PVD | WIN | LAM | ALTUS | PM | Φ100mm | Ch. Iso V/V | |
| – | – | – | – | PM | Φ50mm | Ch. Iso V/V | |
| 静电消除系统 | – | – | PM | Φ50/100mm | Ch. Iso V/V | ||
ITEMS:
◈ 聚合物沉积
◈ 阀门泄漏 ◈ O型圈腐蚀
| 过程 |
M/C | M/N | 模块 | V/V 尺寸 | V/V 位置 | 评估结果 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ETCH |
OXIDE | LAM | KIYO | Ch. | NW25,NW40 | PM | 优秀 (SAMSUNG, SK Hynix) |
| ETCH |
METAL | LAM | TCP9600 | Ch. | NW40 | PM | |
| ETCH | METAL | AMAT | CENTURA | Ch. | NW25,NW40 | PM | |
| ETCH | METAL | 设备制造商 | – | Ch. | NW40 | PM | |
| ETCH | OXIDE | 设备制造商 | – | Ch. | NW25,NW40 | PM | |
| CVD | – | 设备制造商 | – | Ch. | ISO 160 | PM | |
评估参数:
◈ 颗粒物检测（抽真空） ◈ 聚合物沉积
◈ 阀门转速（< 0.1 秒） ◈ O型圈腐蚀
您可以在这里找到
我们阀门的规格说明：
▮ O型圈腐蚀和污染现场试验数据 ▮
▮ 现场测试数据（粒子）
加载锁定时的粒子数据
设备: SAMSUNG (AMAT / Centura DPS)
过程: 蚀刻（金属）
| 粒子检查点 | A公司阀门颗粒数据（个） | LAON BPS 阀门颗粒数据（个） | LAON颗粒减少率(%) |
|---|---|---|---|
| 泵压低于 1 Torr 时，进行降压 | 8,813 | 3 | 99.9660% |
| 17,675 | 7 | 99.9604% | |
| 在 10 Torr 的抽气压力下，进行抽气 | 96,235 | 33 | 99.9657% |
| 31,583 | 50 | 99.8417% | |
| 在 100 Torr 的抽气压力下，进行抽气 | 107,709 | 39 | 99.9638% |
过程室的粒子数据
设备: SAMSUNG (PSK / SUPRA5M)
过程: 蚀刻（灰化）
| 粒子检查点 | B公司阀门颗粒数据（个） | LAON BPS 阀门颗粒数据（个） | LAON 颗粒减少率(%) |
|---|---|---|---|
| 在 1 Torr 的抽气压力下，进行抽气 | 650 | 10 | 99.46% |
| 在 5 托的抽气压力下，进行抽气 | 1183 | 3 | 99.75% |
| 在 100 Torr 的抽气压力下，进行抽气 | 22 | 13 | 40.91% |
过程室的粒子数据
设备: SK Hynix (Lam / Kiyo)
过程: 蚀刻（聚合物）
颗粒晶片（顺序：装载 ⇒ PM（3分钟） ⇒ 卸载）泵开启和关闭状态下的颗粒数据比较。
| 条件 | 粒子数据（每个） | 基准压力 | 前线压力 |
|---|---|---|---|
| Pump ON |
11 | 12.5mT | 16mT |
| Pump Down |
11 | 12.8mT | 16mT |
BPS阀门安装测试结果：泵关闭时腔室压力无变化。
具有出色的回流防止和压力/温度控制能力。
▮ 现场测试数据（聚合物沉积物）
腔室隔离闸阀应用
设备: SK Hynix- ALTUS (Lam)
过程: CVD(WN)
测试周期：60,000 个晶圆周期（3 个月）
| Gate Valve | V公司阀门 | LAON BPS阀 |
|---|---|---|
| 结果 | • 驱动单元因聚合物沉积而发生故障 • O型圈壳体板和轴承上有大量聚合物沉积物 |
• 聚合物沉积 EH（外壳、密封板）
• 密封O型圈，无腐蚀或污染
|
其他公司闸角阀在工艺运行3个月后的状态
LAON BPS闸角阀在运行3个月后的状态
过程室的粒子数据
设备: SK Hynix (AMAT / ULTIMA)
过程: CVD(STI & W)
测试时长：3个月
由于 Kalrez O 型圈存在腐蚀问题，BPS 进行了演示测试。
批量生产设备评估结果
• 状况良好，无污染
• 未见聚合物沉积的明显迹象
• 通过将阀门预防性维护周期增加 3 倍或更多，降低维护成本。
• 泵关闭时腔室压力无变化
• 出色的回流预防和压力/温度控制
▮ 现场测试数据（聚合物沉积物）
工艺腔室用角阀
顾客: DB HiTek
过程: 蚀刻（金属）
| V公司加热角阀 | LAON BPS-CA 加热角阀 | |
|---|---|---|
| 比较分析 |
• 泵送电导率降低
⇒ 参考压力：增加 150 毫托
(30 mT = 150 mTorr)
• PM周期：每2个月清洁一次
|
• 提高泵送传导率
⇒ 维持参考压力 (30mT⇒30mT)
（参考压力：30毫托）
• PM周期：至少是清洁周期的三倍（超过6个月）
|
| 结果 |
• 由于大量聚合物沉积物导致泵送导电性降低
• 发现O型圈沉积泄漏
|
• 聚合物沉积不足
• 保持泵送传导率
• 泄漏稳定
|
其他公司阀门在运行流量4个月后的状态变化
LAON BPS阀门在运行流量4个月后的状态变化
工艺腔室用角阀
顾客: Gigalane
过程: 蚀刻（聚合物）
| V公司加热角阀 | LAON BPS-CA 加热角阀 | |
|---|---|---|
| 分析与结果 |
• PM周期：每三个月清洁一次
• 粒子生成
• 聚合物沉积导致泵浦电导降低
• 由于O型圈沉积物造成的泄漏
|
• PM周期：清洁周期比4倍长（约2年）
• 聚合物沉积物厚度显著改善
• 泵送电导率
• 泄漏稳定
|
其他公司加热角阀状态
LAON BPS加热角阀状态
批量生产设备评估结果
• 通过将阀门预防性维护周期增加 4-8 倍或更多，降低维护成本
• 设备停机时间减少，从而提高了生产效率和产量
• 关闭泄漏稳定
• 提高泵送传导率