LAON TMD SiC CVD FURNACE SYSTEM
설비 공정 수율 & 성능
SiC CVD 공정 | LAON 시스템 및 장비 | 공정 결과 | 견적 요청
▮ laon tmd – 시스템 및 장비
라온티엠디는 CVD 챔버 및 설비 설계부터 공정 레시피까지 모든 고객에게 맞춤형 SiC 코팅 솔루션을 제공하며 95% 이상의 SiC 링 생산 수율을 달성합니다.
| 경쟁사 | 라온티엠디 | |||
|---|---|---|---|---|
| SiC Ring 수량 | 25ea/축 |
대략
|
60ea/축 | 대략 |
| 축 수 | 3 축 |
|
1~5 축 | 구현됨 |
| 1챔버 생산량 | 150ea | 기재 2ea씩 | 300ea | 기재 2ea씩 (5축 기준) |
| 수율 | (~) |
|
>95% |
|
| 양산 수량 | 135ea | 90% 기준 | 270ea | 5축 기준 |
| 공정 | Sub-ATM |
|
ATM |
|
| 실적 | 1개사 3 set | 3개사 20 set |
|
|
| 링 저항 | 고조항만 가능 |
|
저항 선택 가능 |
|
시스템 및 챔버 구조
SiC CVD 2-시스템
(1 chamber/system)
Operating Pressure: 1kg/㎠G
Design Pressure: 1.5kg/㎠G
Operating Temp.: 1200℃~1500 ℃
Process Gas: MTS, N2, Ar, H2
PCW Flow:
– Chamber + Scrubber: 2500L/min
Power:
– M/C : 380V, 50kW
– Upper Heater Power: 380V, 150kW
– Lower Heater Power: 380V, 150kW
Air Source: 6 kgf/㎠ or less
Hydraulic unit supply source: 40kgf/cm2
▮ 유티리티
- Pumping/Cooling 파이프 어셈블리
- Vacuum/Safety Line
- PCW (Process Cooling Water) Supply
- PCW Return
- Exhaust Line (to Scrubber)
- MTS 공급 탱크 및 배관
- Service (Storage) Tank
- Bubbler Tank
▮ laon tmd – PROCESS RESULTS
▮ 공정 전 ▮
- 기재(Graphite ring) 탑재 (5축 × 30개 = 150개)
- Graphite ring(6t)
▮ 공정 후 ▮
- SiC 코팅 후 총두께 18.4t
- 18.4t – graphite 기재 6t = 12.4t
- 상하 각각 6.2t씩 증착
LAON은 100% 증착 수율을 달성했습니다
• 250시간 공정 후 막히는 노즐 없음 – 노즐 막힘 현상 해결
• 타사는 150시간 이후부터 노즐 막힘 발생
• 타사는 노즐 막힘으로 인해 양품 수율 저하
• 라온티엠디 100% Depo. 수율 도달
▮ 특성 ▮
• 수율: >95% (Spec. >60%)
• 라온티엠디는 하드웨어 및 공정 레시피를 개선하여 95% 이상 (다른 회사 일반적으로 60~65% 정도) 수율을 달성했습니다.
• 저저항, 일반저항, 고저항 모두 고객 요구사항을 100% 충족합니다.
업계 최고 수준의 대량 생산 설비 및 공정 기술을 보장
| 항목 | SPEC. | 결과 | |
|---|---|---|---|
| 저저항 | *총두께(㎜) |
19.2±3.6
(>60%)**
|
19.2±3.6
(100%)
|
| 비저항 (Ω㎝) |
<0.02
(>60%)
|
<0.02
(95.1%)
|
|
| 일반저항 | 총두께 (mm) |
19.2±3.6
(>60%)
|
19.2±3.6
(98%)
|
| 비저항 (Ω㎝) |
1~25
(>60%)
|
1~25
(98.7%)
|
|
| 고저항 | 총두께 (mm) |
19.2±3.6
(>60%)
|
>19.2
(100%)
|
| 비저항 (Ω㎝) |
>500
(>60%)
|
>500
(93%)
|
*총두께 : Graphite 모재 두께 6㎜ 포함 두께
**( ) : 수율
일반저항 두께 map
일반저항 비저항 map
▮ LAON CVD 막특성 비교
타사 동등 수준 막특성 결과 확보
Hardness, Thermal conductivity와 Flexural strength가 타사 대비 우수.
| PROPERTY |
A회사 | B회사 | C회사 | LAON CVD | D회사 | E회사 | F회사 | G회사 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Purity(%) | 99.9999 |
99.9999
|
99.999+ |
99.9999
|
99.9999 | – | 99.9995 | 99.9995 |
| Density(g/cm³) | 3.21 |
3.21
|
3.21 |
3.21
|
3.21 | 3.21 | 3.21 | 3.21 |
| Thermal conductivity (W/mK) – High | 200~360 |
267.2
|
200~400 |
377
|
320 | 273 | 220~250 |
127(HR)
220(LR)
|
| Coefficient of thermal expansion (㎛/mK) – Low | 4.5~5 |
4~4.5
|
4~5 |
4.6
|
4.5 | 4.1 | 4.5 | 4.6 |
| Hardness (㎏/㎜²) 경도 – High | 2900~3300 |
2540
|
>2500 |
3022
|
3100 | 2957~3059 | 2800 |
2651(HR)
2692(LR)
|
| Flexural strength (MPa) 굽힘강도 – High | 460 |
506.7
|
>240 |
450
|
420 | 391 | 370 |
447(HR)
590(LR)
|
| Fracture toughness (MPam¹/²) 파괴인성 |
|
|
|
|
|
|
2.94 | 3.5 |
| Grain size (㎛) | 2.1 |
|
|
1~2 |
|
1~10 | <1 | <1 |
| Resistivity (Ω㎝) | 0.1~15,000 | According to requirement | 0.1~15,000 | <0.02, 1~25, >500 | <0.02, 0.2~10, >500 | <0.02, 1~25, >500 | <0.1, >1 | <0.1, >10⁵ |
견적 요청
라온티엠디는 항상 고객을 먼저 생각합니다.
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평일 : 09:00 ~ 18:00 (토,일,공휴일 휴무)
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