LAON TMD Co., Ltd.

LAON TMD SiC CVD 炉系统

SiC CVD工艺| LAON系统及设备| LAON工艺结果 | 询价

▮ laon tmd – 系统及设备

LAON TMD 提供完整的 SiC 涂层工艺解决方案：从 CVD 腔室和公用设施到工艺配方，专为每位客户量身定制。

其他公司 LAON TMD
基材/轴 每杆25个
大约
每杆30个 大约
轴量 3根杆
1~9极 实施的
SiC环生产量 150个 每种基材2个 300个 每种基材2个（5杆系统）
屈服 (~)
>95%
总产出 120个 80% 标准 275个 95% 标准
过程 低压
气压
处理时间 长期
可以调节
环电阻 只有高阻力才有可能
抗性选择可能

系统和腔室结构

CVD 2系统

(1个腔室/系统)

工作压力: 1kg/㎠G
设计压力: 1.5kg/㎠G
工作温度: 1200℃~1500 ℃
工艺气体: MTS, N2, Ar, H2
PCW流量:
– 反应室+洗涤器: 2500L/min
电源:
– M/C : 380V, 50kW
– 上加热器功率: 380V, 150kW
– 下加热器功率: 380V, 150kW
气源: 6 kgf/㎠ or less
液压单元供气压力: 40kgf/cm2

索取报价
Implemented CVD System
CVD System modeling
Upper cover of CVD Chamber
CVD Chamber poles modeling
▮ 实用性
  • 泵送/冷却管组件
    • 真空/安全管
    • 工艺冷却水 (PCW) 供应
    • PCW返回
    • 排气管路（至洗涤器）
  • MTS供水罐和管道组件
    • 服务（存储）罐
    • 气泡水箱
▮ laon tmd – 流程结果
▮ 流程之前 ▮
Graphite ring (thickness 6t)
150 Graphite rings mounted on 5 poles (30ea each)
  • 安装好的石墨环（5根杆 x 30个/个 = 150个/个）
  • 石墨环厚度为6t
▮ 处理后 ▮
Rings after SiC Coating
SiC Rings
Total thickness equals 18.4t after coating
Each SiC Ring is 6.2t
Result
  • 碳化硅涂层后，总厚度为18.4t
  • 18.4t – 6t(石墨基) = 12.4t
  • 上下SiC涂层厚度 = 6.2t

LAON 的沉积产率达到了 100%

• LAON解决了堵塞问题 – 250 小时后喷嘴未堵塞

• 在其他公司，喷嘴在运行 150 小时后就会堵塞。

• 由于喷嘴堵塞，其他公司的产量下降

▮ 特征 ▮

•产率 : 95%（规格>60%）

• 通过改进硬件和工艺配方，LAON 的成品率已超过 95%（其他公司通常为 60%~65%）。

• 低电阻率、普通电阻率、高电阻率均能100%满足客户要求

行业领先的大规模生产设备和工艺技术保证

物品 规格 结果
Low Resistivity 总厚度（mm）*
19.2±3.6
(>60%)**
19.2±3.6
(100%)
电阻率 (Ω㎝)
<0.02
(>60%)
<0.02
(95.1%)
平均电阻率 总厚度 (mm)
19.2±3.6
(>60%)
19.2±3.6
(98%)
电阻率(Ω㎝)
1~25
(>60%)
1~25
(98.7%)
高电阻率 总厚度 (mm)
19.2±3.6
(>60%)
>19.2
(100%)
电阻率 (Ω㎝)
>500
(>60%)
>500
(93%)

* 总厚度：包括石墨基底厚度 6 微米
**(  ) : 产量

（平均电阻率）厚度图
平均电阻率图

▮ LAON CVD薄膜（层）特性比较

确保产品性能与其他公司产品达到同等水平。
硬度、导热性和抗弯强度均高于其他公司。

属性
 A公司 B公司 C公司 LAON CVD D公司 E公司 F公司 G公司
清洁(%) 99.9999
99.9999
99.999+
99.9999
99.9999 – 99.9995 99.9995
密度(g/cm³) 3.21
3.21
3.21
3.21
3.21 3.21 3.21 3.21
热导率 (W/mK) – 高级 200~360
267.2
200~400
377
320 273 220~250
127(HR)
220(LR)
热膨胀系数(㎛/mK) – 低级 4.5~5
4~4.5
4~5
4.6
4.5 4.1 4.5 4.6
硬度(㎏/㎜²) – 高级 2900~3300
2540
>2500
3022
3100 2957~3059 2800
2651(HR)
2692(LR)
弯曲强度(MPa) – 高级 460
506.7
>240
450
420 391 370
447(HR)
590(LR)
断裂韧性(MPam¹/²)





2.94 3.5
粒度(㎛) 2.1

1~2
1~10 <1 <1
电阻率(Ω㎝) 0.1~15,000 根据要求 0.1~15,000 <0.02, 1~25, >500 <0.02, 0.2~10, >500 <0.02, 1~25, >500 <0.1, >1 <0.1, >10⁵

索取报价

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